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S48 300/HMT聯(lián)動控制高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

簡要描述：

S48 300/HMT聯(lián)動控制高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
1.數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
2.高精度
3.Z多可實現(xiàn)16臺聯(lián)動控制氣體質(zhì)量流量控制器

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S48 300/HMT聯(lián)動控制高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

1.數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
2.高精度
3.zui多可實現(xiàn)16臺聯(lián)動控制

S48 300/HMT聯(lián)動控制高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器特點：

技術(shù)參數(shù)：

編號	項目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min；（1,2,3,,5,10，20,30,50）L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%～99%
6	準確度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(<30% F.S.)
7	線性	±0.5% F.S.
8	重復精度	±0.2% F.S.
9	響應(yīng)時間	≤1s
10	工作壓差范圍	（0.05～0.3）MPa(<10L/min): （0.1～0.3）MPa(10～50)L/min； (0.15～0.3)MPa 50L/min
11	耐壓	±3MPa
12	工作環(huán)境溫度	55℃～50℃
13	精度保證溫度	15℃～35℃
14	接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton或其他
15	漏率	<1×10-8 Pa•m3/s
16	接頭	Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他
17	輸入信號	數(shù)字：RS232/RS485 模擬：（0～+5.00）V，輸入阻抗>100KΩ VCR:1/4″3/8″
18	輸出信號	數(shù)字：RS232/RS485 模擬：（0～+5.00）V，負載能力≤3mA
19	通訊接口	數(shù)字：RS232/RS485 波特率：4800/9600/19200Bps 協(xié)議叢機設(shè)備號可選范圍：0～15
20	供電電源	±15V（±5%）（+15V，150mA；-15V,200mA)
21	重量	0.9