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S48 32/HMT模擬型氣體質(zhì)量流量控制器精度1%

簡(jiǎn)要描述:

S48 32/HMT模擬型氣體質(zhì)量流量控制器精度1%
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補(bǔ)償
快速的響應(yīng)
電磁閥使用壽命≥100萬(wàn)次
對(duì)零點(diǎn)漂移有效的控制
良好的選擇性
化的零配件供應(yīng)——傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口

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S48 32/HMT模擬型氣體質(zhì)量流量控制器精度1%

 

特點(diǎn):

  • 可以任意角度安裝
  • 良好的線性——多段線性補(bǔ)償
  • 快速的響應(yīng)
  • 電磁閥使用壽命≥100萬(wàn)次
  • 對(duì)零點(diǎn)漂移有效的控制
  • 良好的選擇性
  • 化的零配件供應(yīng)——傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口

S48 32/HMT模擬型氣體質(zhì)量流量控制器精度1%概述:

 流量                               精度                            耐壓

10L/min以下±1.0%F.S.3MPa
20L/min±1.0%F.S.3MPa
30L/min±1.0%F.S.3MPa
50L/min±1.0%F.S.3MPa

 

技術(shù)參數(shù):

編號(hào)項(xiàng)目S48 32/HMT
1流量規(guī)格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥
3調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)常閉
4安裝角度任意
5流量控制范圍2%~99%
6流量測(cè)量范圍0~99%
7響應(yīng)時(shí)間2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.)
8工作環(huán)境溫度5℃~50℃
9精度保證溫度15℃~35℃
10精度±1.0%F.S.
11線性精度±0.5%F.S.
12重復(fù)性±0.2%F.S.
13工作壓差~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)
14耐壓3MPa
15泄漏率1×10-8 Pa•m3/s (He)
16接觸氣體材料316L,PTFE,Viton氟橡膠
17管路接頭Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18供電電源±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供電時(shí))
19設(shè)定信號(hào)(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
20流量輸出信號(hào)(0~5)VDC 負(fù)載能力≤3mA
21電氣接頭D-SUB15,D-SUB9
22重量(kg)0.9

 

安裝尺寸圖:

 

 

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